Како одабрати марамице за чисту собу за фотолитографију?

Одабир марамица за чисту собу за фотолитографију не би требало да почиње са тврдњама „без влакана“ или ознакама класе чисте собе. Требало би да почне кориснијим питањем:који механизам контаминације ће ваша марамица највероватније створити у вашем специфичном процесу литографије?

У фотолитографији, марамица није само потрошни материјал за чишћење. То је привремена процесна површина која долази у контакт са растварачима, остацима фоторезиста, оптичким компонентама, опремом, а понекад и областима које су суседне плочице. Марамице које добро раде у општој чистој просторији могу и даље бити неприкладне поред уређаја за наношење премаза, развијача, станице за инспекцију или простора за руковање маскама јер ослобађа влакна, неравномерно апсорбује растварач, носи јонску контаминацију или ствара статику која привлачи честице назад на очишћену површину.

Овај водич користи приступ брисања одабира на првом месту. Уместо да пита само "Која марамица је најчистија?", пита се:Која марамица ће остати стабилна у вашој хемији, вашем протоку ваздуха, вашем начину руковања и вашем окружењу за инспекцију кварова?вестонвипер

Почните са дефектом, а не са брисањем

Већина спецификација за брисање фотолитографије почиње са материјалом, величином и класом чистоће. Тај налог је погодан за куповину, али може сакрити праву одлуку.

Ефикаснији процес селекције почиње са дефектом или ризиком који покушавате да спречите:

Овај приступ спречава уобичајену грешку: одабир марамице са високим упијањем за задатак где је упијање мање важно од интегритета ивица. У фотолитографији, марамица која апсорбује велику количину ИПА, али одбацује влакна близу конца није добра марамица. То је извор контаминације са добрим капацитетом растварача.

Зашто се фотолитографија разликује од општег чишћења чисте собе

Фотолитографија комбинује неколико изазова контроле контаминације који се не јављају увек заједно у другим применама чистих соба.

Прво, многе површине сухемијски осетљива. Некомпатибилни растварачи, сурфактанти или остаци који се преносе са марамице могу утицати на фоторезисте, развијаче, промотере адхезије, антирефлексне премазе и оптичке премазе.

Друго, многе критичне површине сувизуелно прегледан. Влакно које би било невидљиво у складишту или простору за паковање може постати мерљиви дефект под инспекцијом светлог поља, прегледом тамног поља или аутоматизованом оптичком инспекцијом.

Треће, фотолитографија често укључујебрисање на бази растварача. Сува марамица може бити безбедна у једној примени, али има лош учинак када је засићена ИПА, ацетоном, НМП или другом хемикалијом. Марамица мора да задржи своју структуру када је мокра, уместо да постане слаба, замагљена или склона лињању.

Коначно, подручја фотолитографије често садрже мешавинуризик од макро- и микро-контаминације. Проливање на шасији алата се разликује од честице близу ивице плочице. Коришћење једне марамице за сваки задатак може поједноставити инвентар, али такође може створити проблеме са контаминацијом и трошковима који се могу избећи.

Избор материјала: Упарите марамицу са контактном површином

Полиестер са континуалним филаментом: основа за критично брисање

За већину брисања везаних за фотолитографију, 100% полиестер са континуираним филаментима је најпоузданија полазна тачка.

Његова вредност није само у томе што је "синтетичка". Важна карактеристика је конструкција: мања је вероватноћа да ће се континуирани филаменти разбити на кратка влакна него материјали од резаних влакана. У литографском окружењу, та разлика је битна јер сломљено влакно може постати мобилни загађивач.

Полиестер такође нуди корисну снагу на мокром. Када је марамица засићена ИПА-ом или другим растварачем за чишћење, не би требало да се распадне, осипа или остави за собом нејасни талог. Ово је посебно важно у вези са премазачима, развијачима, опремом за дозирање растварача и станицама за оптичку инспекцију.

За директан или скоро директан рад око плочица, маски, конца, сочива и прецизно обложених површина, полиестерска марамица са мало влакана је генерално најбезбеднија подразумевана.

Микрофибер: Корисно, али не аутоматски "боље"

Марамице за чисту собу од микровлакана се често промовишу за високу апсорпцију и прикупљање ситних честица. Обе тврдње могу бити истините. Међутим, микрофибер није аутоматски најбољи избор за фотолитографију.

Микрофибер може бити користан када задатак укључује:

Уклањање финих филмова или остатака са стаклених и оптичких површина.

Чишћење дисплеја, ТФТ подлога или великих стаклених површина.

Брисање површина опреме на којима је драгоцена висока способност упијања.

Сакупљање ситних честица са глатких, неабразивних површина.

Али микровлакна треба пажљиво бирати када је површина премазана, мекана или веома осетљива на абразију. Гушћа структура од микровлакана може да обезбеди одличан контакт, али марамица мора бити компатибилна са завршном обрадом површине и хемијом чишћења.

Практично правило је једноставно:изаберите микрофибер за перформансе подизача, а не зато што звучи напредније.Ако апликација укључује површину обложену фоторезистом, прецизну оптику или деликатан премаз, потврдите мекоћу, понашање при хабању и учинак остатака пре стандардизације марамице.

Избегавајте да третирате све неткане марамице као еквивалентне

Пулпа-полиестерске и друге неткане марамице имају место у индустријском чишћењу. Могу бити економични, упијајући и ефикасни за задатке одржавања.

Међутим, не треба их третирати као заменљиве са полиестерским брисачима за чисту собу за критичне фотолитографске радове. Марамице дизајниране за апсорпцију уља, контролу просипања или опште индустријско брисање можда неће понудити перформансе са ниским садржајем честица, мало екстраховања које су потребне у близини опреме за литографију.

Разлика није у престижу бренда. Ради се о функцији. Индустријска марамица опште намене може бити одлична за уклањање просутог растварача са пода или спољашњости алата, док је контролисана полиестерска марамица прикладнија за површине на којима се мора строго управљати ослобађањем честица и преносом остатака.

Третман ивица је одлука за контролу контаминације

Многи купци упоређују марамице према врсти тканине и ГСМ-у, али занемарују ивицу. То је грешка. У фотолитографији, ивица марамице може бити најважнији део производа.

Ивица за брисање може да се понаша на три начина:

За фотолитографију, обично су пожељније ласерски исечене или ултразвучно запечаћене ивице. Разлог је једноставан: запечаћена ивица смањује шансу да сама марамица постане извор контаминације коју је одабрано да уклони.

Ово је посебно важно када су марамице пресавијене током употребе. Преклапање повећава контакт и напрезање на ивицама. Ако је ивица лоше обрађена, сваки преклоп може ослободити више влакана. Висококвалитетна тканина са лоше контролисаном ивицом стога може имати лошије резултате од једноставнијег материјала са добро запечаћеном ивицом.

Када процењујете добављаче, питајте се не само да ли је марамица „ласерско сечена“, већ и како се контролише интегритет ивица од ролне до готовог брисања. Доследност је важнија од једног импресивног узорка.

Класа чистоће: користите је као филтер, а не као коначни одговор

Класификација чистих просторија је важна, али је често погрешно схваћена. Марамица означена за одређену класу чисте собе не гарантује да је идеална за сваки задатак унутар те класе.

Бољи начин да се сагледа класификација је као афилтер за филтрирање:

Прво, идентификујте ниво чистоће подручја где ће се марамица користити.

Затим идентификујте критичност површине која се брише.

На крају, изаберите марамицу чије перформансе честица, влакана и извлачења подржавају оба услова.

На пример, окружење ИСО класе 5 или класе 100 може захтевати више контролисано брисање него подручје подршке ИСО класе 7. Али чак и у истој чистој просторији, марамица која се користи на шасији алата не би требало нужно да буде иста марамица која се користи у близини плочице, конца или оптичке површине.

Спецификације које су важније од ознаке класе

Када упоређујете марамице, затражите податке који се директно повезују са ризиком од фотолитографије:

Брисање чисте собе без употребљивих техничких података је тешко квалификовати. За фотолитографију, купци треба да очекују следљивост партија, документацију за испитивање и јасне информације о конструкцији материјала и паковању.

Брисачи за чисте собе компаније Вестонвипер су позиционирани за коришћење у контролисаној околини и укључују породице производа као што су марамице од полиестера, марамице од микровлакана, ласерски резане марамице, претходно засићене марамице, ЕСД марамице и марамице класе 100. Овај опсег је користан јер фотолитографија ретко има један универзални захтев за брисање.

Суве марамице у односу на претходно засићене марамице: контрола наспрам конзистенције

Одлука о сувом насупрот презасићеном често је уоквирена као избор погодности. У фотолитографији се боље разуме као аизбор контроле процеса.

Суве марамице дају кориснику контролу

Суве полиестерске марамице су прикладне када поступак чишћења захтева контролисану примену растварача. Они омогућавају оператеру или аутоматизованом процесу да одреде:

• Који се растварач користи.
• Колико се растварача примењује.
• Колико је марамица влажна пре контакта.
• Када је потребна нова марамица или нова површина за брисање.

Ова контрола је драгоцена у вези са осетљивим фотоотпорним материјалима, оптичким компонентама и опремом где би прекомерно излагање растварачу могло да створи пруге, оток или нежељене остатке.

Суве марамице такође имају смисла када објекат користи више од једне хемије за чишћење. Једна сува полиестерска марамица потенцијално може бити квалификована различитим одобреним растварачима, под условом да је материјал компатибилан са сваким од њих.

Презасићене марамице дају конзистентност процеса

ИПА презасићене марамице су драгоцене када је циљ поновљиво мокро брисање. Уместо да се ослањате на сваког оператера да примени исту количину растварача, марамица стиже са дефинисаном претходно навлаженом формулацијом.

Вестонвипер'с 9 × 9 инчапретходно засићене марамице за чисту собу, на пример, користите формулацију од 70% ИПА и 30% ултра чисте воде дизајниране за мокро брисање, уклањање остатака и контролу контаминације.

Претходно засићене марамице могу смањити варијације у свакодневном чишћењу, посебно за:

Брисање површине опреме.

Чишћење радне станице.

Уклањање остатака са површина без производа.

Рутинско одржавање око алата за литографију.

Задаци чишћења код којих је потребно поједноставити руковање растварачем.

Међутим, презасићено не значи универзално компатибилно. Пре него што унесете ИПА претходно засићено брисање у СОП за фотолитографију, проверите:

Концентрација ИПА и квалитет воде.

Компатибилност са фоторезистом, премазима, заптивкама и површинама алата.

Време сушења и потенцијални остатак.

Да ли влажна марамица испуњава захтеве чистоће одређене радне зоне.

Да ли паковање чува садржај растварача и чистоћу током складиштења.

Најбољи избор није увек најсува или највлажнија марамица. Најбољи избор је онај који чини корак чишћењапоновљиво без увођења нове варијабле контаминације.

Статично: ризик од контаминације који се враћа

Уклањање честица је само половина задатка чишћења. Ако очишћена површина постане наелектрисана, може скоро одмах да привуче честице назад.

Због тога ЕСД контрола заслужује више пажње у фотолитографији него што јој се често придаје. Статика није само проблем електричног оштећења. У чистој просторији, такође је апитање привлачења честица.

Површина се може обрисати, али ако задржи статички набој, честице у ваздуху могу поново да се таложе на њој. У фотолитографији, ово може поткопати чишћење око плочица, фотомаски, конца, дисплеја и осетљивих електронских компоненти.

ЕСД марамицевреди размотрити када апликација укључује:

Области за руковање полупроводничким плочицама.

Производња екрана или ТФТ панела.

ПЦБ или електронски склоп у близини опреме за литографију.

Статички осетљиве инспекцијске станице.

Радне станице на којима се честице више пута појављују након чишћења.

Али ЕСД перформансе треба потврдити, а не претпоставити. Затражите релевантне податке о површинској отпорности или статичкој дисипацији и потврдите да ЕСД функција не угрожава перформансе влакана, упијање или хемијску компатибилност.

Користан начин размишљања о ЕСД марамицама је следећи:нису само антистатички производи; они су производи против реконтаминације.

Ускладите брисање са задатком, а не са целом фабриком

Уобичајена грешка при куповини је покушај да се идентификује једна „најбоља брисање за фотолитографију“ за цео објекат. У пракси, фотолитографија садржи више окружења за брисање.

Брисање суседних плочица и критичних површина

За подручја у близини плочица, конца, маски, сочива и прецизно обложених површина, дајте приоритет:

• Полиестер са континуалним филаментом са ниским длачицама.
• Ласерски исечене или ултразвучно запечаћене ивице.
• Ниска екстракција и ниска јонска контаминација.
• Компатибилност са одобреним растварачима.
• Чисто, затворено паковање.

Овде марамицу треба одабрати тако да може директно утицати на квалитет производа – чак и ако не додирује саму обланду.

Одржавање алата и опреме

За оквире за премазивање, екстеријере опреме за развијање, површине процесних алата и опште одржавање опреме, приоритет се може померити ка упијању, издржљивости и отпорности на раствараче.

Тежа полиестерска марамица може бити корисна тамо где треба да се апсорбује више течности. Међутим, и даље би требало да испуњава захтеве за чистоћу зоне. Тешка марамица која одбацује влакна није надоградња; то је већи извор контаминације.

Чишћење оптичких и екранских површина

За сочива, стаклене панеле, ТФТ подлоге и површине повезане са екраном, површински контакт постаје посебно важан. Марамица треба да обезбеди равномеран контакт без гребања или остављања трагова.

Микрофибер може бити прикладан у неким од ових примена, али коначна одлука треба да зависи од осетљивости премаза, компатибилности растварача и захтева за инспекцију.

Реакција на изливање и некритично одржавање

За контролу просипања, чишћење спољашњег паковања или мање критично одржавање, може бити прикладна марамица која више упија. Циљ је брзо уклонити течност без ширења контаминације.

Важна дисциплина је спречити да брисање за одржавање пређе у критични задатак брисања. Кодирање боја, наменски дозатори, јасно означавање и СОП раздвајање могу помоћи.

Практична метода брисања је важна колико и брисање

Чак и исправна марамица може створити контаминацију ако се неправилно користи. Процедуре чишћења фотолитографије треба да третирају марамицу као контролисано процесно средство.

Практична метода укључује:

• Користите ново брисање за дефинисани задатак.Немојте да носите марамицу из области одржавања у област која је суседна плочицама.
• Пресавијте марамицу на четвртине.Ово ствара више чистих површина и смањује могућност брисања контаминираним делом.
• Обришите у једном контролисаном правцу.Избегавајте кружно рибање на обложеним, оптичким површинама или површинама осетљивим на фотоотпор.
• Користите нову површину за брисање за сваки пролаз.Када површина дође у контакт са контаминацијом, немојте је поново користити на чистој површини.
• Немојте преоптеретити марамицу растварачем.Вишак течности може проширити контаминацију и оставити трагове.
• Држите марамице запечаћене до употребе.Излагање околини чисте собе пре употребе може поништити сврху чистог паковања.
• Забележите модел брисања и број серије.Сљедивост омогућава објекту да истражи догађај контаминације умјесто да нагађа.
• Потврдите процедуру са стварном површином и растварачем.Лабораторијски подаци су важни, али валидација процеса потврђује перформансе у стварном свету.

Последња тачка је посебно важна. Марамица која има добре резултате у стандардном тесту који се може извући и даље може створити проблеме ако се користи са погрешним растварачем, превише агресивно савијена или нанесена на површину са којом никада није требало да дође у контакт.

Шта питати добављача за брисање

Јак добављач би требало да буде у стању да објасни не само од чега је направљена марамица, већ и зашто та конструкција одговара одређеној примени.

Пре него што одобрите брисање за употребу у фотолитографији, затражите:

1. Комплетан састав материјала и конструкција тканине.
2. ГСМ, димензије и метода заптивања ивица.
3. Подаци о испитивању ослобађања честица и влакана.
4. Подаци о екстрактима, јонској контаминацији и неиспарљивим остацима.
5. Информације о компатибилности растварача, посебно за ИПА и друге процесне хемикалије.
6. Подаци о упијању и влажној чврстоћи.
7. Метода паковања, укључујући паковање чисте собе и детаље за заптивање.
8. Сљедивост партије и потврда о доступности анализе.
9. Опције прилагођавања за величину, ГСМ, преклапање и паковање.
10. Упутство о томе која је марамица прикладна за сваку зону чишћења.

Вестонвипер нуди ласерски резане марамице за чисту собу у величинама од 4, 6, 9 и 12 инча, са прилагођеним опцијама од 80–250 гсм, претходно навлаженим верзијама и двослојним вакуумским паковањем. Те опције су важне јер корисници фотолитографије често морају да ускладе величину марамице, упијање и паковање са специфичном процедуром чишћења, а не да прихвате производ који одговара свима.

Оквир за избор који можете одмах да примените

Користите овај оквир у пет корака када квалификујете марамице за чисту собу за фотолитографију:

Овај оквир избегава најчешћу замку набавке: одабир марамице на основу генеричке етикете, а затим откривање њених ограничења након што је ушао у производњу.

ФАКс

Која је најбоља крпа за чисту собу за фотолитографију?

За већину критичних фотолитографских апликација, 100% полиестерска марамица са континуираним филаментима са ласерски исеченим или ултразвучно запечаћеним ивицама је најјача полазна тачка. Такође би требало да има ниско ослобађање честица, мало екстрахованости, јаке перформансе у мокрим условима и потврђену компатибилност са растварачем за чишћење.

Да ли су марамице од микровлакана погодне за фотолитографију?

Могу бити, посебно за задатке чишћења стакла, дисплеја, оптичких уређаја и опреме где су важни покупљање и упијање ситних честица. Међутим, треба их проверити на хабање, остатке и хемијску компатибилност пре употребе око обложених површина или површина осетљивих на фотоотпор.

Да ли марамице за фотолитографију треба да буду суве или ИПА претходно засићене?

Користите суве марамице када је вашем тиму потребна контрола над врстом растварача и применом. Користите ИПА претходно засићене марамице када су важнији поновљиво влажење и практично уклањање остатака. Тачан избор зависи од површине, хемије и СОП-а - не само од погодности.

Да ли марамице за фотолитографију морају бити безбедне од ЕСД-а?

Не увек, али ЕСД марамице вреди размотрити у областима са компонентама осетљивим на статички електрицитет, дисплејима, ПЦБ-има или понављајућим поновним таложењем честица. У тим подешавањима, статичка контрола је део контроле контаминације.

Може ли се једна марамица користити за сваки задатак чисте собе?

Могуће је, али није увек идеално. Критичне површине, чишћење растварачем, одржавање опреме и реаговање на изливање имају различите приоритете. Коришћење марамица за специфичне задатке може смањити унакрсну контаминацију и побољшати контролу процеса.

Коначна препорука

Најефикаснија крпа за чисту собу за фотолитографију није нужно најмекша, најупијајућа или најскупља опција. То је марамица која остаје стабилна у вашој хемији, ослобађа најмање влакана на својим ивицама, оставља минималне остатке, подржава вашу класификацију чистоће и помаже у спречавању враћања честица након чишћења.

За критично брисање фотолитографије, почните са полиестерском марамицом са континуалним филаментом са мало влакана са запечаћеном ивицом. Додајте микровлакна само тамо где прикупљање финих честица то оправдава. Користите ИПА претходно засићене марамице тамо где је поновљивост важна, и размотрите марамице које контролишу ЕСД где је реконтаминација изазвана статиком стваран ризик.

Добро одабрана марамица треба да нестане из процеса на најбољи могући начин: да очисти површину, да не остави ништа иза себе и да никада не постане разлог за следећи недостатак.